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KLA Filmetrics F10-AR薄膜厚度測量儀便攜式反射儀帶有內(nèi)部光纖，利用具有長壽命、低功率光源可以測量曲面上的減反射涂層厚度。以極低的價(jià)格在幾秒鐘...

KLA Filmetrics R50系列四探針電阻測試儀可對金屬層厚度、薄膜電阻、薄膜電阻率、薄膜電導(dǎo)和薄膜電導(dǎo)率進(jìn)行測繪。R54是方塊電阻測量的最新一代升級款...

KLA NanoFlip納米壓痕儀可在真空和氣氛條件下，準(zhǔn)確、精密地進(jìn)行硬度、模量、屈服強(qiáng)度、剛度和其它納米力學(xué)性能的測試。無論在掃描電子顯微鏡(SEM)或是聚...

KLA iNano®納米壓痕儀使測量薄膜、涂層和小體積材料變得更簡單。準(zhǔn)確、靈活、用戶友好的儀器可以進(jìn)行多樣的納米材料力學(xué)測試，包括壓痕、硬度、劃痕和...

KLA Nano Indenter® G200X納米壓痕儀是一種易于使用的納米級力學(xué)測試工具，可快速提供精確的定量分析結(jié)果。G200X系統(tǒng)可處理從硬質(zhì)...

KLA iMicro納米壓痕儀可輕松測量硬質(zhì)涂層、薄膜和小尺寸材料等。其準(zhǔn)確、靈活，并且用戶友好，可以提供壓痕、硬度測試、劃痕和納米級萬能試驗(yàn)等多種納米力學(xué)測試...

KLA Candela® 7100系列缺陷檢測和分類系統(tǒng)為硬盤驅(qū)動器基板和介質(zhì)提供了高級缺陷檢測和分類功能。7100系列硬盤驅(qū)動器缺陷檢測和分類系統(tǒng)以...

KLA Candela® 6300系列光學(xué)表面分析儀系統(tǒng)為金屬或玻璃數(shù)據(jù)存儲基板和成品介質(zhì)提供了先進(jìn)的量測和檢測功能。隨著數(shù)據(jù)存儲制造商努力通過進(jìn)一步...

KLA Candela® 8720表面缺陷檢測系統(tǒng)先進(jìn)的集成式表面和光致發(fā)光(PL)缺陷檢測系統(tǒng)可以捕獲各種關(guān)鍵襯底和外延缺陷。采用統(tǒng)計(jì)制程控制(SP...

KLA Candela® 8520表面缺陷檢測系統(tǒng)第二代集成式光致發(fā)光和表面檢測系統(tǒng)，設(shè)計(jì)用于對碳化硅和氮化鎵襯底上的外延缺陷進(jìn)行高級表征。采用統(tǒng)計(jì)制...

KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統(tǒng)它使用多通道檢測和基于規(guī)則的缺陷分類，對不透明、半透明和透明晶圓(如砷化鎵、磷化銦、鉭酸鋰、鈮酸鋰、...

KLA Zeta™-388光學(xué)輪廓儀提供3D量測和成像功能，與集成防震臺和晶圓操作系統(tǒng)結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)全自動測量。該系統(tǒng)采用ZDot™ 技術(shù)...

KLA Zeta™-300光學(xué)輪廓儀可提供3D 量測和成像功能，與集成式防震臺和靈活的配置相結(jié)合，可以處理更大的樣品。該系統(tǒng)采用ZDot&trade...

全新的KLA Zeta™-Solar光學(xué)輪廓儀專為滿足優(yōu)良金屬化工藝中對于細(xì)柵線、接觸墊和主柵線的測量需求而設(shè)計(jì)。更為優(yōu)良的3D 成像技術(shù)，以及最大...

KLA Zeta™-20光學(xué)輪廓儀是一個(gè)高度集成的光學(xué)輪廓顯微鏡，可在緊湊、耐用的包裝下提供3D量測和成像功能。該系統(tǒng)采用ZDot™ 技...

KLA Filmetrics® Profilm3D® 光學(xué)輪廓儀和 Profilm3D-200 光學(xué)輪廓儀經(jīng)濟(jì)實(shí)惠，是一套非接觸式基于白光干...

KLA HRP®-260 探針式輪廓儀是一個(gè)高分辨率、自動化探針式輪廓儀，提供從幾納米到 300 微米的臺階高度測量功能。P-260支持臺階高度、粗糙...

KLA Tencor® P-170 探針式輪廓儀是一款自動化輪廓儀，可為生產(chǎn)環(huán)節(jié)提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、...

Alpha-Step D-500接觸式探針式輪廓儀能夠測量幾納米到1200微米高的2D臺階。D-500也支持在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)節(jié)中對粗糙度、彎曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D測量...

P-17粗糙度測量探針式輪廓儀為生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)節(jié)提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維(2D)和三維(3D)測...