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KLA Candela® 7100系列缺陷檢測(cè)和分類系統(tǒng)為硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器基板和介質(zhì)提供了高級(jí)缺陷檢測(cè)和分類功能。7100系列硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器缺陷檢測(cè)和分類系統(tǒng)以...
KLA Candela® 6300系列光學(xué)表面分析儀系統(tǒng)為金屬或玻璃數(shù)據(jù)存儲(chǔ)基板和成品介質(zhì)提供了先進(jìn)的量測(cè)和檢測(cè)功能。隨著數(shù)據(jù)存儲(chǔ)制造商努力通過(guò)進(jìn)一步...
KLA Candela® 8720表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)先進(jìn)的集成式表面和光致發(fā)光(PL)缺陷檢測(cè)系統(tǒng)可以捕獲各種關(guān)鍵襯底和外延缺陷。采用統(tǒng)計(jì)制程控制(SP...
KLA Candela® 8520表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)第二代集成式光致發(fā)光和表面檢測(cè)系統(tǒng),設(shè)計(jì)用于對(duì)碳化硅和氮化鎵襯底上的外延缺陷進(jìn)行高級(jí)表征。采用統(tǒng)計(jì)制...
KLA Candela® 8420表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)它使用多通道檢測(cè)和基于規(guī)則的缺陷分類,對(duì)不透明、半透明和透明晶圓(如砷化鎵、磷化銦、鉭酸鋰、鈮酸鋰、...
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