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KLA Zeta™-388光學(xué)輪廓儀提供3D量測和成像功能，與集成防震臺(tái)和晶圓操作系統(tǒng)結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量。該系統(tǒng)采用ZDot™ 技術(shù)...

KLA Zeta™-300光學(xué)輪廓儀可提供3D 量測和成像功能，與集成式防震臺(tái)和靈活的配置相結(jié)合，可以處理更大的樣品。該系統(tǒng)采用ZDot&trade...

全新的KLA Zeta™-Solar光學(xué)輪廓儀專為滿足優(yōu)良金屬化工藝中對于細(xì)柵線、接觸墊和主柵線的測量需求而設(shè)計(jì)。更為優(yōu)良的3D 成像技術(shù)，以及最大...

KLA Zeta™-20光學(xué)輪廓儀是一個(gè)高度集成的光學(xué)輪廓顯微鏡，可在緊湊、耐用的包裝下提供3D量測和成像功能。該系統(tǒng)采用ZDot™ 技...

KLA Filmetrics® Profilm3D® 光學(xué)輪廓儀和 Profilm3D-200 光學(xué)輪廓儀經(jīng)濟(jì)實(shí)惠，是一套非接觸式基于白光干...

KLA HRP®-260 探針式輪廓儀是一個(gè)高分辨率、自動(dòng)化探針式輪廓儀，提供從幾納米到 300 微米的臺(tái)階高度測量功能。P-260支持臺(tái)階高度、粗糙...

KLA Tencor® P-170 探針式輪廓儀是一款自動(dòng)化輪廓儀，可為生產(chǎn)環(huán)節(jié)提供從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺(tái)階高度、粗糙度、...

Alpha-Step D-500接觸式探針式輪廓儀能夠測量幾納米到1200微米高的2D臺(tái)階。D-500也支持在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)節(jié)中對粗糙度、彎曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D測量...

P-17粗糙度測量探針式輪廓儀為生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)節(jié)提供從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維(2D)和三維(3D)測...

Tencor P-7薄膜生長表面檢測探針式輪廓儀為生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)節(jié)提供了從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維(2...

半導(dǎo)體薄膜生長表面檢測Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到 1200微米的2D和3D臺(tái)階高度。D-600 還支持2D和3D...

NLD-3000原子層沉積系統(tǒng)：ALD原子層沉積可以滿足精確膜厚控制以及高深寬比結(jié)構(gòu)的保形沉積，這方面ALD原子層沉積遠(yuǎn)超過其它沉積技術(shù)。由于前驅(qū)體流量的隨意性...

薄膜反射儀是一款相對較低成本和操作簡單的工具?；陉嚵械奶綔y器系統(tǒng)保證快速測量，可升級(jí)到MSP（顯微分光光度計(jì)）系統(tǒng)，SRM映射系統(tǒng)，多通道系統(tǒng)，大點(diǎn)的...

光學(xué)接觸角測量儀可根據(jù)客戶的需求，針對不同的工作測試環(huán)境，提供相應(yīng)的解決方案，如有技術(shù)請咨詢德國韋氏納米系統(tǒng)

Harrick Plasma 等離子清洗機(jī)真空泵具有悠久歷史的專業(yè)光學(xué)光譜儀器的設(shè)計(jì)和制造。自1969開始，Harrick Plasma ，行業(yè)享有盛名。該公司...

高功率等離子清洗機(jī)除了具有超清洗功能外，在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。等離子體作用于材料表面，使表面分子的化學(xué)鍵發(fā)生重組，形成新的表面特性。對...

基本型等離子清洗機(jī)采用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。等離子表面處理機(jī)外接一臺(tái)真空泵，工作時(shí)清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清...

PECVD沉積可選配一個(gè)三極管（Triode）或電感耦合等離子(ICP)源。三極管源使得用戶可以創(chuàng)建高密度等離子，從而控制薄膜應(yīng)力。

等離子刻蝕ICP基片通過預(yù)真空室裝入。其避免與工藝室以及任意殘余刻蝕副產(chǎn)品接觸，從而提高了用戶安全性。預(yù)真空室還使得工藝室始終保持在真空下，從而隔絕外部濕氣，防...

液相擴(kuò)散技術(shù)（LDT）提供了各種 基材和表面材料的干燥性能性能增強(qiáng)。這種專有的干燥工藝及其它的系統(tǒng)控制生成超純IPA氣霧劑層，在靜止的基板移動(dòng)擴(kuò)散去除水分，不留...