KLA Tencor® P-170 探針式輪廓儀是一款自動(dòng)化輪廓儀，具有行業(yè)優(yōu)秀的P-17的臺(tái)式系統(tǒng)測(cè)量性能和經(jīng)HRP^®-260生產(chǎn)驗(yàn)證的機(jī)械手臂。這種組合為半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)提供了一種擁有基于機(jī)械手臂系統(tǒng)的低成本解決方案。KLA Tencor® P-170 探針式輪廓儀支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，掃描范圍可達(dá)200毫米且無(wú)需拼接。

通過(guò)結(jié)合UltraLite^®傳感器、恒力控制和超平掃描樣品臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)出色的測(cè)量穩(wěn)定性。使用點(diǎn)擊式樣品臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)元件以及具有光學(xué)變焦功能的高分辨率相機(jī)，可快速輕松地設(shè)置程式。Tencor P-170支持2D或3D測(cè)量，可使用多種濾波、調(diào)平和分析算法來(lái)測(cè)量表面形貌。全自動(dòng)測(cè)量是通過(guò)自動(dòng)晶圓處理、圖形識(shí)別、排序和特征檢測(cè)實(shí)現(xiàn)的。

特征

• 臺(tái)階高度：納米級(jí)到1000微米

• 恒定力控制：0.03至15mg

• 樣品的全直徑掃描，無(wú)需拼接

• 視頻：5MP高分辨率彩色相機(jī)

• 弧形校正：可消除探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

• 軟件：簡(jiǎn)單易用的軟件界面

• 生產(chǎn)能力：全自動(dòng)測(cè)量，具有測(cè)序、圖形識(shí)別和SECS/GEM功能

• 晶圓傳輸機(jī)械手臂：自動(dòng)加載直徑為75毫米到200毫米的不透明（例如硅）和透明（例如藍(lán)寶石）樣品

應(yīng)用

• 臺(tái)階高度：2D和3D臺(tái)階高度

• 紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

• 形狀：2D和3D翹曲、形狀

• 應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力

• 缺陷檢測(cè)：2D和3D缺陷表面形貌

工廠

• 半導(dǎo)體

• 化合物半導(dǎo)體

• LED：發(fā)光二極管

• MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)

• 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

• 汽車