PicoFemto透射電鏡樣品桿預(yù)抽存儲(chǔ)系統(tǒng),透射電子顯微鏡樣品桿預(yù)抽存儲(chǔ)系統(tǒng)（T-staion）由內(nèi)置進(jìn)口分子泵組、樣品桿預(yù)抽室及觸摸顯示屏組成。適用于各品牌透射電鏡樣品桿，保證樣品桿*處于高真空狀態(tài)，減少進(jìn)樣預(yù)抽時(shí)間?？缮?jí)等離子清洗功能，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品桿或MEMS芯片的清洗。

PicoFemto透射電鏡樣品桿預(yù)抽存儲(chǔ)系統(tǒng)性能指標(biāo)

• 兼容各廠家樣品桿。

• 分子泵組：ISO/CF63 84L/sec。

• 極限真空：5 X10-5 Pa。

• 插桿位：4個(gè)桿位，可獨(dú)立放氣。

• 觸摸屏：實(shí)施顯示預(yù)抽室真空度，一鍵開(kāi)關(guān)。

• 可升級(jí)等離子清洗功能（需提前預(yù)留接口）。