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MicroSense

Microsense(aKLACompany)設(shè)計(jì)制造高精度的電容式位移傳感器（分辨率低至1nm）。傳感器包含有無源和有源，可根據(jù)客戶的需求選用。不同帶寬的設(shè)計(jì)可以滿足客戶對(duì)于高速采樣的要求。

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