Microsense(美國(guó)KLA子公司) 高精度電容式位移傳感器

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        精密位移傳感器，用于精確位置測(cè)量短距離高分辨率的非接觸式位置測(cè)量與任何市售電容式位移傳感器相比，MicroSense的電容式位移傳感器提供的噪聲性能低，可實(shí)現(xiàn)納米甚至皮米分辨率。有幾種類(lèi)型的傳感器可供使用-這些“”電容式位置傳感器針對(duì)高穩(wěn)定性和線(xiàn)性度或針對(duì)快速響應(yīng)的測(cè)量帶寬進(jìn)行了優(yōu)化。

所有MicroSense®精密電容式傳感器的特點(diǎn)：

·         *非接觸式電容位置測(cè)量-現(xiàn)有機(jī)器精確的電傳感技術(shù)

·         檢測(cè)任何導(dǎo)電的，接地的目標(biāo)-表面光潔度或材料對(duì)精度沒(méi)有影響

·         針對(duì)較短的測(cè)量范圍進(jìn)行了優(yōu)化10微米至4毫米，具體取決于傳感器的尺寸

電容式位置傳感器-應(yīng)用

與其他類(lèi)型的精密位置傳感器相比，電容式位移傳感器具有以下主要優(yōu)勢(shì)–

·         電容式傳感器可在短范圍內(nèi)（通常從10微米到2毫米）提供高達(dá)納米級(jí)的高分辨率。

·         電容式傳感器是*非接觸式的，可與導(dǎo)電的接地目標(biāo)一起工作

·         電容傳感器提供高測(cè)量帶寬–取決于型號(hào)，可達(dá)10KHz，20KHz或100KHz

一、型號(hào)簡(jiǎn)介（精密位移傳感器）：

  1 、被動(dòng)式高精度電容位移傳感器：代表型號(hào)：48XX 系列，88XX系列，Mini系列

  被動(dòng)式電容傳感器為一種非接觸式精密位置傳感器。基于追求的線(xiàn)性和穩(wěn)定性而設(shè)計(jì)，其測(cè)量帶寬高達(dá)20千赫-于伺服系統(tǒng)位置反饋和快速機(jī)床伺服應(yīng)用理念。

  2 、主動(dòng)式高精度電容位移傳感器：代表型號(hào)，58XX系列，68XX系列

  -----突破納米分辨率壁壘——實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率與快速響應(yīng)-高達(dá)100千赫帶寬!

  6810型高分辨率電容式傳感器提供了*的位置和位移性能測(cè)量。6810是專(zhuān)為“高動(dòng)態(tài)”測(cè)量高速旋轉(zhuǎn)或振蕩的物體，如精密硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)主軸電機(jī)、精密空氣軸承主軸和機(jī)械軸承

  機(jī)床主軸應(yīng)用，主要應(yīng)用與分辨率要求在1-2nm或更小的跳動(dòng)測(cè)量( run out measurement)，如軸向和徑向NRRO不可重復(fù)運(yùn)行或異步誤差運(yùn)動(dòng)(NRRO-non-repeatable run out or asychronous error motion)。

 二、 性能：

  1) 測(cè)量距離--± 5 um 到± 2 mm內(nèi)非接觸式位移測(cè)量和尺寸測(cè)量的理想選擇

  2) 高測(cè)量帶寬(高頻率響應(yīng))可選-- 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz and 100 kHz

  3) 適用于任何接地，導(dǎo)電的目標(biāo)--材料或表面光潔度對(duì)精度沒(méi)有影響

  4) 高分辨率—可實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)分辨率，據(jù)傳感器探頭尺寸，帶寬，測(cè)量距離共同決定

  5)線(xiàn)性度— 優(yōu)于滿(mǎn)量程測(cè)量的0.025%， 據(jù)傳感器探頭尺寸，帶寬，測(cè)量距離共同決定

 三、 應(yīng)用：

  1 定位功能 ：

  1)用于伺服反饋傳感器納米定位器

  2)快速機(jī)床私服系統(tǒng)定位

  2 距離和位移測(cè)量：

  1)尺寸測(cè)量和檢驗(yàn)

  2)轉(zhuǎn)軸位移測(cè)量

  3 跳動(dòng)測(cè)量：

  1)精密馬達(dá)和轉(zhuǎn)軸的跳動(dòng)測(cè)量

  2)主軸計(jì)量與主軸跳動(dòng)測(cè)量

  3)精密樣品臺(tái)的直線(xiàn)度和平面度測(cè)量

  4 厚度測(cè)量 ：

  1)磁性介質(zhì)厚度測(cè)量

  2)藍(lán)光光盤(pán)模具厚度測(cè)量

  5 自動(dòng)對(duì)焦和調(diào)零：

  半導(dǎo)體晶片表面檢測(cè)(聚焦平面控制)

  6 振動(dòng)測(cè)量：

  1)精密工作臺(tái)振動(dòng)測(cè)量

  2)傳動(dòng)軸振動(dòng)測(cè)量

  3)主動(dòng)隔震系統(tǒng)伺服反饋系統(tǒng)

四、產(chǎn)品原理簡(jiǎn)圖