Microsense高精度電容式位移傳感器、微位移傳感器、納米定位位移傳感器、電容式微位移傳感器

Microsense（美國KLA子公司） 高精度電容式位移傳感器

*，中國區(qū)總代理—岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司

聯(lián)系地址：北京市房山區(qū)長陽鎮(zhèn)啟航3期5號樓801

一、優(yōu)勢簡介：

Microsense高精度微位移納米定位傳感器具有一般非接觸式儀器所共有的非接觸式特點(diǎn)外，還具有信噪比高，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁*力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。在國內(nèi)研究所，高等院校、工廠等部門得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種*的測試儀器。

二、特點(diǎn)：

1 近距離高精度非接觸式位置測量

2 可達(dá)亞納米級直至皮納米級別分辨率，為世界上所有商用電容傳感器中噪音性能***品牌

3 可基于無論是高穩(wěn)定性和線性還是測量帶寬而提供多種型號探頭“應(yīng)用定制化”的優(yōu)化方案。

4 單一通道或多通道（3U歐洲卡機(jī)架安裝標(biāo)準(zhǔn)）可選

三、型號簡介（Microsense高精度微位移納米定位傳感器）：

1 被動式高精度電容位移傳感器：代表型號：48XX 系列，88XX系列，Mini系列

被動式電容傳感器為一種非接觸式精密位置傳感器?；谧非蟮木€性和穩(wěn)定性而設(shè)計(jì)，其測量帶寬高達(dá)20千赫-于伺服系統(tǒng)位置反饋和快速機(jī)床伺服應(yīng)用理念。

2 主動式高精度電容位移傳感器：代表型號，58XX系列，68XX系列

-----突破納米分辨率壁壘——實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率與快速響應(yīng)-高達(dá)100千赫帶寬!

6810型高分辨率電容式傳感器提供了進(jìn)的位置和位移性能測量。6810是專為“高動態(tài)”測量高速旋轉(zhuǎn)或振蕩的物體，如精密硬盤驅(qū)動主軸電機(jī)、精密空氣軸承主軸和機(jī)械軸承

機(jī)床主軸。

主要應(yīng)用與分辨率要求在1-2nm或更小的跳動測量（ run out measurement），如軸向和徑向NRRO不可重復(fù)運(yùn)行或異步誤差運(yùn)動（NRRO-non-repeatable run out or asychronous error motion)。

四、性能：

1）   測量距離--± 5 um 到± 2 mm內(nèi)非接觸式位移測量和尺寸測量的理想選擇

2）   高測量帶寬（高頻率響應(yīng)）可選-- 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz and 100 kHz

3）   適用于任何接地，導(dǎo)電的目標(biāo)--材料或表面光潔度對精度沒有影響

4）   高分辨率—可實(shí)現(xiàn)亞納米級分辨率，據(jù)傳感器探頭尺寸，帶寬，測量距離共同決定

5）   5）線性度— 優(yōu)于滿量程測量的0.025%， 據(jù)傳感器探頭尺寸，帶寬，測量距離共同決定

五、應(yīng)用：

           1 定位功能 ：

          1）用于伺服反饋傳感器納米定位器   

          2）快速機(jī)床私服系統(tǒng)定位

           2 距離和位移測量：   

          1）尺寸測量和檢驗(yàn)    

          2）轉(zhuǎn)軸位移測量

3 跳動測量：

1）精密馬達(dá)和轉(zhuǎn)軸的跳動測量

2）主軸計(jì)量與主軸跳動測量  

3）精密樣品臺的直線度和平面度測量

4 厚度測量 ：

1）磁性介質(zhì)厚度測量

2）藍(lán)光光盤模具厚度測量

5 自動對焦和調(diào)零：

半導(dǎo)體晶片表面檢測（聚焦平面控制）

6 振動測量：

1）精密工作臺振動測量  

2）傳動軸振動測量  

3）主動隔震系統(tǒng)伺服反饋系統(tǒng)

應(yīng)用示例】

平面度測量：

直線度測量：

轉(zhuǎn)軸跳動測量：