目錄:廣州金程科學(xué)儀器有限公司>>等離子表面處理儀>>等離子清洗機>> CIF-SEM掃描電鏡等離子清洗機清洗碳氫化合物
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,航天,電氣,綜合 |
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廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)的掃描電鏡(SEM)等離子清洗機CIF-SEM采用遠程等離子清洗源設(shè)計，清洗快速、高效、低轟擊損傷，主要用于SEM 或FIB等腔體內(nèi)碳氫化合物的清洗。與電鏡配套使用，掃描電鏡等離子清洗機清洗碳氫化合物。
儀器特點：
遠程離子清洗源
清洗快速、高效
低轟擊損傷
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號 | CIF-SEM |
法蘭接口 | KF40(CF40) |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz射頻電源，射頻功率5-150W可調(diào) |
遠程等離子源，自動匹配器 | |
氣體控制 | 標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(MFC)可選雙路。0-500sccm,自動控制氣體流量，不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空保證 | 真空計和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面 |
電源/功率 | AC220V,50/60Hz,300W |
可選配件 | 可選氧氣、氮氣、氫氣發(fā)生器，氫氣純度>99.999%,輸出流量O-500SCCM |
質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保，終身維護 |
產(chǎn)品尺寸 | L320xW385xH465mm |
包裝尺寸 | L440xW535xH725mm |
整機重量 | 25kg |
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