目錄:廣州金程科學(xué)儀器有限公司>>等離子表面處理儀>>等離子清洗機(jī)>> CIF-TEMTEM透射電鏡樣品桿等離子清洗機(jī)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,航天,電氣,綜合 |
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廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)的TEM透射電鏡樣品桿等離子清洗機(jī)CIF-TEM采用遠(yuǎn)程離子清洗源設(shè)計(jì)，清洗快速高效，低轟擊損傷，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用于 TEM 透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏。
儀器特點(diǎn)：
遠(yuǎn)程離子清洗源
一機(jī)多用
清洗快速高效，低轟擊損傷
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號 | CIF-TEM |
等離子電源 | 13.56MHz等離子射頻電源，射頻功率5-150W可調(diào) |
遠(yuǎn)程等離子源，自動(dòng)匹配器 | |
清洗室 | 清洗室尺寸0180xH100mm |
清洗數(shù)量 | 可同時(shí)清洗3支TEM樣品桿 |
適配品牌 | 美國THERMO FISHER(FEI)、日本日立(HITACHI)、日本電子(JEOL) |
氣體控制 | 標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)(MFC)可選雙路。0-500sccm/分，自動(dòng)控制氣體流量，不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 皮拉尼真空計(jì)，測量范圍1.0E-5Pa~1E+5Pa |
真空保證 | 真空計(jì)和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動(dòng)操作界面 |
真空泵 | 前級泵 |
抽氣速率2.5 m3/h | |
分子泵 | |
極限真空：LF<8*10?Pa,CF<8*10'Pa | |
分子泵抽速85L/s(N?) | |
入口法蘭：DN63 ISO-K(LF)/CF | |
質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保，終身維護(hù) |
電 源 | AC220V、50/60Hz,300W |
產(chǎn)品尺寸 | L565xW505xH560mm |
包裝尺寸 | L715xW655xH820mm |
整機(jī)重量 | 68kc |
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