AE 射頻電源 Paramount MF 15002 15KW 1.8-2.17MHz RF Generator 是經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有穩(wěn)定輸出能力和控制能力的高性能射頻電源，在實(shí)際運(yùn)行過程中展現(xiàn)出了優(yōu)良的工藝穩(wěn)定性。AE Paramount 系列射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體薄膜工藝中，該型射頻電源成膜速度快，效率高，能夠在一定程度上提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。MF 15002射頻電源能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)射頻輸出的精準(zhǔn)控制，在半導(dǎo)體制程濺射、CVD、PECVD、蝕刻工藝中存在較多應(yīng)用和良好表現(xiàn)。

AE 射頻電源 Paramount MF 15002 15KW 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：AE（Advanced Energy）

設(shè)備型號(hào)：Paramount MF 15002

AC 電源輸入：3 phase~ +PE，200~208V，50/60Hz，70A  

RF 射頻輸出：15KW，1.8~2.17MHz，＜1000Vrms

通訊接口：Sync In/Out，CEX In/Out，Match，User，Serial，ENET

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：MAX 進(jìn)水壓力 6.9Bar/690kPa