供貨周期 |
現(xiàn)貨 |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
化工,電子,電氣,綜合 |
型號 |
Paramount?6013 |
M/N |
3156360-006A |
P/N |
0190-37730-01 |
頻率 |
13.56MHz |
輸出功率 |
6000W |
設(shè)備狀態(tài) |
Refurblished |
AE PARAMOUNT 6013 AE 射頻電源 Paramount 6013 13.56MHz 6KW RF Generator 關(guān)注設(shè)備操作的靈活性和應(yīng)用平臺的通用性。AE Paramount Series平臺采用數(shù)字架構(gòu),可實(shí)現(xiàn)精密的電源管理和優(yōu)化新功能的集成,無需研制周期或硬件更改。該平臺通過實(shí)時(shí)檢測等離子體的變化,實(shí)現(xiàn)大功率輸出和可重復(fù)性能。內(nèi)部保護(hù)限值還可確保操作穩(wěn)定可靠。
AE Paramount Series 射頻發(fā)生器是面向業(yè)界前沿核心等離子體應(yīng)用的可重復(fù)利用的電源。Paramount Series 射頻功率發(fā)生器集頻率調(diào)諧、脈沖和全數(shù)字控制于一身。
AE Paramount Series 射頻發(fā)生器采用全數(shù)字控制可動(dòng)態(tài)響應(yīng)等離子體變化,實(shí)現(xiàn)控制優(yōu)化和同步的高級功能。全系列設(shè)備的頻率范圍從400KHz~60MHz,功率范圍從1.5KW~10KW。
AE Paramount Series 射頻發(fā)生器可提供寬頻率和功率范圍,支持多種集成場景,并配備標(biāo)準(zhǔn)串行或模擬接口。AE PARAMOUNT 6013 AE 射頻電源 Paramount 6013 13.56MHz 6KW RF Generator 關(guān)注設(shè)備操作的靈活性和應(yīng)用平臺的通用性。全系列平臺采用數(shù)字架構(gòu),可實(shí)現(xiàn)精密的電源管理和優(yōu)化新功能的集成,無需研制周期或硬件更改。該平臺通過實(shí)時(shí)檢測等離子體的變化,實(shí)現(xiàn)大功率輸出和可重復(fù)性能。內(nèi)部保護(hù)限值還可確保操作穩(wěn)定可靠。
AE PARAMOUNT 6013 AE 射頻電源 Paramount 6013 13.56MHz 6KW RF Generator
優(yōu)點(diǎn)
提高等離子體穩(wěn)定性和工藝可重復(fù)性
精密控制射頻功率
快速響應(yīng)等離子體變化
易于調(diào)整滿足特定應(yīng)用需求
特點(diǎn)
全數(shù)字控制
頻率調(diào)諧、脈沖和脈沖同步
實(shí)時(shí)功率和阻抗測量
電弧管理
相位同步(CEX)
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![883315_003.JPG](https://img69.chem17.com/1b082722e7f6039b8e7571db0a3d31f67c83e531d8e2a9b4d6fa78850428c961a365a37b1ba540c3.jpg)
![883315_006.JPG](https://img69.chem17.com/1b082722e7f6039b8e7571db0a3d31f666e6ed62fd6e11d0260b0f1b11b6c00a68eb8224dabc4e08.jpg)