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MKS 射頻電源 EDGE4001A 3000W 返回列表頁(yè)

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產(chǎn)品型號(hào)MKS EDGE4001A

品牌MKS/美國(guó)

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地揚(yáng)州市

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更新時(shí)間：2023-11-23 11:27:47瀏覽次數(shù)：593次

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產(chǎn)品分類品牌分類

射頻電源（RF）: KYOSAN JFK Series MKS GEW Series ADTEC TX Series COMET cito Series AE LFGS Series ULVAC RFS Series MKS Spectrum Series MKS EDGE Series KYOSAN RFK Series ENI GHW Series ENI ACG Series AE RFG Series AE PDX Series AE Paramount Series AE HFV Series AE APEX Series ADTEC TS Series DAIHEN RGA Series COMDEL AE Cesar Series ADTEC AX Series

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

供貨周期	現(xiàn)貨	貨號(hào)	EDGE 4001A-E01
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子,電氣,綜合	主要用途	RF GENERATOR
品牌	MKS	型號(hào)	EDGE4001A
M/N	EDGE?4001A-E01	P/N	660-253758-015
頻率	0.9-1.1MHz	輸出功率	3000W
設(shè)備狀態(tài)	Refurblished

MKS 射頻電源 EDGE4001A 3000W RF Generator 是性能優(yōu)良輸出穩(wěn)定的射頻電源，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制造工藝中，有優(yōu)秀的成膜能力，整體采取緊湊設(shè)計(jì)，可有效的降低客戶的使用成本。

詳情介紹

MKS 射頻電源 EDGE4001A 3000W 是一款性能穩(wěn)定可靠性高的射頻電源，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中，整體采用了緊湊設(shè)計(jì)，小巧緊湊，能夠有效的降低客戶的使用成本。MKS EDGE Series 射頻電源是專為薄膜加工設(shè)備設(shè)計(jì)的可靠的固態(tài)電源，是制造現(xiàn)代計(jì)算機(jī)和電子設(shè)備所需的集成電路或芯片的半導(dǎo)體制程的重要部件，具有優(yōu)秀的成膜能力，能夠快速成膜，提高產(chǎn)線效率。MKS EDGE系列生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)制造工藝進(jìn)行了嚴(yán)格控制，保證了該系列電源實(shí)際使用過(guò)程中的優(yōu)良性能和精密控制。

MKS 射頻電源 EDGE4001A 3000W 參數(shù)規(guī)格

品牌：MKS

型號(hào)：EDGE4001A

AC Input：3 phase~，200~208V，25A，50/60Hz

RF Output：3000W CW（3.8KW PEAK），0.9~1.1MHz

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：MIN水流流速 1Gal/min，MAX進(jìn)水水壓 80PSI

設(shè)備重量：19kg，42lbs