MKS 高頻射頻電源 EDGE 10060A-E13 RF Generator 是專為薄膜加工設(shè)備提供的可靠的固態(tài)電源，是制造現(xiàn)代計(jì)算機(jī)和電子設(shè)備所需的集成電路或芯片的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的重要部件。MKS EDGE Series射頻電源廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中，如CVD、PVD、PECVD等，輸出穩(wěn)定可靠，具有優(yōu)秀的成膜能力，在半導(dǎo)體薄膜工藝中，該型射頻電源成膜速度快，能夠在一定程度上提高產(chǎn)線效率，同時(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精密控制，保證產(chǎn)品良率。

MKS 高頻射頻電源 EDGE 10060A-E13 參數(shù)規(guī)格

品牌：MKS

設(shè)備型號：EDGE 10060A-E13

AC 電源輸入：3 phase~，200~208V，55A，50/60Hz

RF 射頻輸出：10000W，57.0~63.0MHz

通信接口：Interlock、RS-232C，CEX，ECAT，ETHERNET

設(shè)備散熱：水冷散熱                                                                                                                                                                                                        

水冷進(jìn)水需求：MIN水流速度 1.5Gal/min；MAX水流壓力 80PSI