目錄:上海波銘科學儀器有限公司>>光譜系統(tǒng)>>顯微缺陷膜厚>> 高速相位差測量裝置 RE-200
● 相位差（ρ[deg.], Re[nm]）
● 主軸方位角（θ[deg.]）
● 橢圓率（ε）?方位角（γ）
● 三次元折射率（NxNyNz）
● 位相差膜、偏光膜、橢圓膜、視野角改善膜、各種功能性膜
● 樹脂、玻璃等透明、非均質(zhì)材料（玻璃有變形，歪曲等）
● 什么是RE-200
● RE-200是光子結晶素子（偏光素子）、CCD相機構成的偏光計測模塊和透過的偏光光學系相組合，可高速且高精度的測量位相差（相位差）、及主軸方位角。CCD相機1次快門獲取偏光強度模式，沒有偏光子旋轉的機構，系統(tǒng)整體上是屬于小型構造，長時間使用也能維持穩(wěn)定的性能。
執(zhí)行擬合/傅立葉變換以計算橢圓度 ε 和方位角 γ。
| 型號 | RE series |
|---|---|
| 樣品尺寸 | 最小10×10mm ～最大100×100mm |
| 測量波長 | 550nm （標準仕樣）※1 |
| 相位差測量范圍 | 約0nm ～約1μm |
| 軸檢出重復精度 | 0.05°（at 3σ） ※2 |
| 檢出器 | 偏光計測模塊 |
| 測量光斑直徑 | 2.2mm×2.2mm |
| 光源 | 100W 鹵素燈或 LED光源 |
| 本體?重量 | 300(W) × 560(H) ×430（D) mm 、約20kg |
Option
● Rth測量、全quan方位角測量※治具本體（旋轉：180°, 傾斜：±50°）
● 動旋轉傾斜治具
視角改善膜A
視角改善膜B
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