薄膜厚度測(cè)量?jī)x在線測(cè)量的解決方案

使用F32可以簡(jiǎn)單快速地在線測(cè)量膜厚。從對(duì)膜的頂部和底部反射光譜進(jìn)行分析可得到實(shí)時(shí)厚度信息。

F32的光譜分析系統(tǒng)采用半寬的3U rack-mount底盤(pán)，加上附加的分光計(jì)，可達(dá)到四個(gè)不同的位置（EXR和UVX版本兩個(gè)位置）。F32軟件可以通過(guò)數(shù)字I/O或主機(jī)軟件來(lái)控制啟動(dòng)/停止/復(fù)位測(cè)量。測(cè)量數(shù)據(jù)可以自動(dòng)導(dǎo)出到主機(jī)軟件中進(jìn)行統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制。Filmetrics還提供可選的透鏡組件，以便于集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)裝置上。

包含的軟件和USB連接使得在任何windows平臺(tái)上安裝F32很簡(jiǎn)單。在測(cè)量軟件的幫助下，它預(yù)裝了100多種材料，使得單層和多層薄膜的測(cè)量很容易實(shí)現(xiàn)。通過(guò)測(cè)量樣品的光學(xué)常數(shù)或從現(xiàn)有的來(lái)源輸入數(shù)據(jù)，可以快速添加新材料。

薄膜厚度測(cè)量?jī)x附加特性

•             嵌入式在線診斷方式

•             免費(fèi)離線分析軟件

•             精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能，幫助用戶有效地存儲(chǔ)，重現(xiàn)與繪制測(cè)試結(jié)果