生產(chǎn)環(huán)境的自動測繪

Filmetrics F60-t 系列薄膜厚度測量儀就像我們的 F50產(chǎn)品一樣測繪薄膜厚度和折射率，但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。 這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準(zhǔn)確定、全封閉測量平臺、預(yù)裝軟件的工業(yè)計算機(jī)，以及升級到全自動化晶圓傳輸?shù)臋C(jī)型。

不同的 F60-t 儀器根據(jù)波長范圍加以區(qū)分。 較短的波長 (例如， F60-t-UV) 一般用于測量較薄的薄膜，而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

薄膜厚度測量儀附加特性

•   嵌入式在線診斷方式

•   免費(fèi)離線分析軟件

•   精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能，幫助用戶有效存儲，重現(xiàn)與繪制測試結(jié)果