日本Otsuka大塚FE-3700高精度膜厚測(cè)量系統(tǒng)
- 公司名稱 成都藤田科技有限公司
- 品牌 OTSUKA/日本大塚
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/2/22 11:18:45
- 訪問次數(shù) 32
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
日本Otsuka大塚FE-3700高精度膜厚測(cè)量系統(tǒng)-成都藤田科技提供
產(chǎn)品信息
特殊長度
可以高速、高精度地測(cè)量各種玻璃基板上各種薄膜的膜厚和光學(xué)常數(shù)。除了支持包括下一代尺寸在內(nèi)的大型玻璃基板外,它還支持 LCD、TFT 和有機(jī) EL。
用法
LCD
ITO / Glass, PI / OC / Glass, CF / Glass, Resist / Glass
TFT
SiN / a-Si / 玻璃
有機(jī)EL
有機(jī)EL / ITO / 玻璃
PDP
介電層/玻璃
核心特點(diǎn):
超大基板全覆蓋:專為下一代尺寸玻璃基板設(shè)計(jì)(支持超長/超寬規(guī)格),可高效測(cè)量LCD、TFT、有機(jī)EL等大型面板,兼容PI、ITO、SiN、介電層等復(fù)雜膜層結(jié)構(gòu)。
納米級(jí)精度與秒級(jí)速度:采用分光干涉+AI算法技術(shù),單點(diǎn)測(cè)量時(shí)間<1秒,膜厚精度±0.1nm,光學(xué)常數(shù)(n/k)解析<0.5%,滿足量產(chǎn)級(jí)質(zhì)量控制需求。
全場(chǎng)景適配性:從研發(fā)實(shí)驗(yàn)室到自動(dòng)化產(chǎn)線,支持在線(inline)集成,可定制XYZ多軸平臺(tái),實(shí)現(xiàn)基板全域厚度分布映射與缺陷快速篩查。
高速量產(chǎn)優(yōu)化:每小時(shí)可檢測(cè)超3000點(diǎn),支持多探頭并行測(cè)量,大幅提升玻璃基板(如G8/G10)產(chǎn)線效率,降低設(shè)備綜合成本(CoO)。
超薄與超厚膜通吃:量程覆蓋1nm至200μm,適用于OC(光學(xué)膠)、Resist(光刻膠)等軟膜與硬質(zhì)涂層的精準(zhǔn)厚度控制。
低維護(hù):非接觸式測(cè)量設(shè)計(jì),無探針損耗,長期使用穩(wěn)定性達(dá)99.8%,搭配遠(yuǎn)程診斷功能,減少停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。
日本Otsuka大塚FE-3700高精度膜厚測(cè)量系統(tǒng)-成都藤田科技提供