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SB6/8 Gen2 晶圓貼片機

具體成交價以合同協(xié)議為準

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述:

SB6/8 Gen2 是一款適用于晶圓鍵合工藝的半自動平臺設(shè)備 123。它能夠處理 200 毫米以下各種形狀和類型的襯底和晶圓,是一個適合多種用途和工藝環(huán)境的靈活工具。

2. 設(shè)備應(yīng)用

· MEMS 領(lǐng)域:在微機電系統(tǒng)(MEMS)的封裝及結(jié)構(gòu)塑造中發(fā)揮重要作用,有助于制造高性能、高精度的 MEMS 器件。

· LED 領(lǐng)域:用于 LED 封裝及結(jié)構(gòu)塑造,提升 LED 器件的性能和可靠性。

· 優(yōu)良封裝領(lǐng)域:為優(yōu)良封裝技術(shù)提供支持,如 2.5D 和 3D 集成等,滿足半導(dǎo)體行業(yè)對更高集成度和更小尺寸的需求。

3. 設(shè)備特點

· 高度靈活:在鍵合室溫度、鍵合力和空氣壓力的配置上有廣闊的自由度,大大增加了應(yīng)用的選擇范圍,并且還能調(diào)整工藝以適應(yīng)不斷變化的工藝條件。

· 工藝穩(wěn)定:可以確保在不同的工藝條件下都能保持穩(wěn)定的鍵合質(zhì)量,提高產(chǎn)品的一致性和可靠性。

· 產(chǎn)量高:具備較高的生產(chǎn)效率,能夠滿足從研究開發(fā)到批量生產(chǎn),再到大規(guī)模生產(chǎn)的不同需求。

· 高精度對準:與 SUSS 鍵合對準器套裝組合后,能夠進行高精度的預(yù)鍵合對準,保證鍵合的精度和準確性。

· 兼容多種材料和工藝:開放的平臺兼容臨時鍵合的所有常見材料系統(tǒng),除已用于生產(chǎn)的工藝外,還在不斷鑒定更多材料,以最大范圍支持市場上可供選擇的粘材;并且能夠支持如膠黏鍵合、陽極鍵合、共晶鍵合、熱鍵合、玻璃漿料鍵合等多種鍵合工藝 。

· 安全可靠:具備防止用戶直接接觸壓力室以及防止顆粒進入的設(shè)計,打造無污染的工藝環(huán)境,保障操作人員的安全和產(chǎn)品的質(zhì)量。







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