一．高精度電容薄膜真空計(jì)VR-208C-510D（E）概述：

PBS-510xx-C1型電容薄膜真空計(jì)是PBS-510系列薄膜真空計(jì)產(chǎn)品型號(hào)之一（全系列產(chǎn)品型號(hào)及分類參見附錄1）。其主要特點(diǎn)是精度等級(jí)較高、計(jì)量可重復(fù)性好、采用DB15D電纜插座(線位與MKS600系列等薄膜真空計(jì)相同.可以替代使用)。PBS-510xx-C1型電容薄膜真空計(jì)，從測(cè)量機(jī)理上，它具有傳統(tǒng)的電容薄膜規(guī)*的良好的線性度、測(cè)量值與被測(cè)氣體成分無關(guān)等優(yōu)點(diǎn)；從其結(jié)構(gòu)上，它采用了新一代的MCU數(shù)字芯片器件，是一種智能型的數(shù)字式真空傳感器。PBS-510xx-C1型電容薄膜真空計(jì)不僅可以輸出多種標(biāo)準(zhǔn)模擬量信號(hào)，還可以有RS-485MODBUS、HART等協(xié)議的數(shù)據(jù)通訊接口供選配，以實(shí)現(xiàn)直接與智能型科學(xué)儀器之間的數(shù)據(jù)通訊。  

PBS-510A/B/C/D-C1型薄膜真空計(jì)適用于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境和精密科學(xué)儀器配套使用，對(duì)溫濕度、振動(dòng)、被測(cè)氣體壓力波動(dòng)率、空氣潔凈度、電磁干擾強(qiáng)度等都有一定的要求，另外，為了保證高精度真空壓力測(cè)量，對(duì)后續(xù)二次儀表、采集電路精度等級(jí)、分辨率、供電電源條件、保護(hù)地線、工作地線等等技術(shù)要求必須符合產(chǎn)品有關(guān)規(guī)定；因此，使用本型號(hào)產(chǎn)品之前，務(wù)必詳細(xì)閱讀并理解此使用說明書。

二．結(jié)構(gòu)與安裝使用

（ 一）結(jié)構(gòu)：

PBS-510x-C1薄膜真空計(jì)外觀如圖1所示：                     3.↓

1.外殼；                                                                                            

2 KF-16真空快卸法蘭接口；                           1→       ↓  ←6

3.D15插座；

4.S-滿度調(diào)節(jié)孔；                                          4    5

5.Z--零點(diǎn)調(diào)節(jié)孔；

6.固定螺母。

 （二）安裝

1.避免在有較強(qiáng)振動(dòng)、電磁干擾環(huán)境中使用。

設(shè)備需有良好工作地線（接地電阻<20~25歐姆）；

設(shè)備外殼良好接地（保護(hù)地線） ；                                   2→

2. 電容薄膜真空計(jì) 應(yīng)安裝于 垂直位置（如圖）

 如設(shè)備位置必須安裝于水平或其他角度位置時(shí)

 必須重新帶角度校準(zhǔn) ，修正由此帶來的附加誤差。  圖一 PBS-510xx-C1型薄膜真空計(jì)

3. 真空連接 標(biāo)配采用NW16 ISO-KF (即：KF-16) 真空快卸法蘭，配套件備有

304不銹鋼材質(zhì)的KF-16焊接法蘭，和卡箍、中心支架、O型橡膠密封圈、通過焊接法蘭頭連接到設(shè)備管道或容器。安裝注意檢查焊接法蘭焊接質(zhì)量、法蘭端面、密封圈的光潔度及清潔與否 ，注意真空密封良好和安裝穩(wěn)定牢固。

（三）.電氣連接：

1.高精度電容薄膜真空計(jì)VR-208C-510D（E）的電氣連接采用D15型15針高可靠性接插件，其標(biāo)配的電源電壓為±15Vdc；電流：<35mA;三線制；輸出信號(hào)：0～10VDC,與電源電壓供地接法。如下圖所示：;

• 使用±15VCD電源時(shí)，接線端子如下：

                             d7-------  +15VDC----- 連接電纜分線色：  紅色或棕色    

                             d6------  —15VDC------ 連接電纜分線色： 藍(lán)色

                             d2------  輸出0--10V-------   連接電纜分線色：  黃色或灰色

                             D12 ------- 輸出零位（電源0位，接外殼）----- 連接電纜分線色： 黑色

• 使用24VCD電源時(shí)，接線端子如下：

                             d7-------  24VDC正極 ----- 連接電纜分線色：  紅色 或棕色    

                             d6------  。。。。。。負(fù)極--------- 連接電纜分線色： 藍(lán)色

                             d2------  輸出0--10V-------   連接電纜分線色：   黃色 或灰色

                             D12 ------- 輸出零位（接外殼）----- 連接電纜分線色： 黑色

                             圖. 2 PBS-510xx-C1型薄膜真空計(jì) 電氣連接說明

(四).計(jì)量校準(zhǔn)

PBS-510xx-C1型薄膜真空計(jì)屬于高精度計(jì)量器具，應(yīng)定期計(jì)量檢定。用于檢定的標(biāo)準(zhǔn)器其精度應(yīng)高于被檢定儀器的一個(gè)精度等級(jí)以上。使用中若需調(diào)校零點(diǎn)，必須要有較高真空度的真空源。建議平時(shí)盡量不要隨便自行調(diào)校，可送（具有該項(xiàng)目CNAS檢定資質(zhì)的）當(dāng)?shù)匦姓?jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)檢定調(diào)校和校準(zhǔn)。建議的計(jì)量檢定周期為一年。

• 售后服務(wù)及注意事項(xiàng)

1.使用前務(wù)必詳細(xì)閱讀使用說明書，以防誤操作；

2.出現(xiàn)故障現(xiàn)象，請(qǐng)及時(shí)與廠家聯(lián)系，切不可擅自修理，以防人為故障。

3.儀器的質(zhì)保期為18個(gè)月，超出質(zhì)保期，或人為損壞，或自行拆卸者 ，需支付維修工本費(fèi)；

4.配接二次儀表，必須詳細(xì)了解其技術(shù)性能、輸入阻抗、測(cè)量分辨率必須符合薄膜真空計(jì)的具體技術(shù)指標(biāo)，建議二次儀表的輸入阻抗必須大于100k～1000k歐姆，測(cè)量的AD轉(zhuǎn)換分辨率高于20位.；外接電源電壓必須符合薄膜真空計(jì)具體規(guī)格要求，詳細(xì)見產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)。

主要技術(shù)指標(biāo)：

測(cè)量范圍：（1Tor、10Tor、100Tor、1000Tor）

測(cè)量精度：0.1級(jí)、0.25級(jí)

測(cè)量分辨率：0.0001Tor、0.001Tor、0.01Tor、0.1Tor

輸出信號(hào)：4~20mA1—5V0～10V,

阻抗：<600Ω；

響應(yīng)時(shí)間：≦20ms

典型使用環(huán)境溫度范圍：10—50C；

電源電壓：±15V(標(biāo)配)、±12V、24V DC,

材質(zhì)：304不銹鋼          

過載壓力：400kPa

外形尺寸：Φ48x125mm ，

重量：0.39kg                  

真空接口標(biāo)準(zhǔn)：NW16 ISO KF(標(biāo)配)

電氣連接  ：15 PIN D-sub