薄膜真空計是迄今為止得到*的可作為低真空測量（0.01--100Pa）工作副標準的一種真空儀器，

其原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產生膜片間距離的變化，即產生了電容的變化，再通過鑒頻器把電容變化轉換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號，所以，它的測量是直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關，與氣體成分無關，即：薄膜真空計是一種直接測量式的、全壓型的真空計。

而我們常用的真空計往往是電阻計、熱偶計居多，是一種間接測量的真空計，是一種熱傳導型的真空測量方法，簡單一點來說，就是通過測量感受氣體溫度的方法來間接測量氣體壓強（真空度），是一種類似于大家很熟悉熱電阻、熱電偶的測量方法。由于測量原理上的先天不足，這類真空計的測量精度、測量穩(wěn)定度是很不好的。其測量誤差一般比薄膜真空計大1~2個以上數(shù)量級（誤差大于30%），尤其是在粗低真空段，誤差甚至大到令人無法置信。但是由于它制造容易、價格低廉，在許多的要求較低真空設備上還普遍使用著。許多人抱怨花了3、4千元買到進口的真空傳感器也誤差很大，就是因為老外的這個價位的產品還是老的熱傳導測量機理的真空傳感器。

現(xiàn)在真空應用技術的發(fā)展，真空應用設備對儀器儀表的要求越來越高，特別是對測量精度、穩(wěn)定性要求、以及自動控制性能要求也越來越高，因為這直接關系到真空設備的整體性能質量，關系到真空應用技術或應用工藝的應用效果，甚至于成功與否。在精細化工、真空冶煉、真空熱處理、真空浸漬、真空冷凍干燥、真空絕緣處理、電真空器件、半導體材料生產、高特新材料、新能源設備等等行業(yè)中尤其特出。

許多新設備、新工藝、新產品的開發(fā)無法得到預想的技術指標，很可能就是真空測控儀表選型不當、測量控制精度無法達到要求所致。

當然，薄膜真空計也不是*的，首先是價格高，國內一般是4-6千元，量限低的貴些；進口則1.6—2.5萬元/只左右；其次，國內老式的薄膜規(guī)容易零漂，需要經常校正，要求高的經常校正。主要是技術陳舊，國內材料科學相對落后造成的，溫度穩(wěn)定性不好；還有一個量程跨度小，國內的不超過3個數(shù)量級。第三是國產規(guī)嬌氣，容易壞，有油污進去很難清洗，要用丙酮，清洗挽救1\3往往會報廢，小量程的2\3會壞。

所以，我們需要有一種具有國產價格、進口品質的薄膜真空計。

國外的薄膜真空計與我們舊式國產產品的相比有什么不同呢？一是陶瓷薄膜真空壓力測量技術、二是智能儀表技術。首先是通過大規(guī)模厚膜電路，將薄膜電容測量機構和傳感器調理電路微型化，做在陶瓷基片上，另外，將智能儀表電路微型化，一次儀表和二次儀表合二為一，所以量程寬、精度高、體積?。?/span>

現(xiàn)在，國內學習和引進*技術，根據(jù)我們真空設備配套測控儀表的特點，研制出的陶瓷薄膜真空計，其測量精度和穩(wěn)定性已經*可以與進口產品相媲美了。

當然，真正要做好高精度的薄膜真空計zui重要的、也是zui為關鍵的一步是：計量校準和規(guī)范的量值傳遞；

經過多年的艱苦奮斗，我國已經建立了*的、科學的、系統(tǒng)的計量體系（CNAS）;真空度計量屬于壓力計量；要保證產品的高精度，還必須嚴格遵循CNAS的規(guī)范要求、建立相應的企業(yè)標準、適時量值傳遞檢定等等工作，這方面國內企業(yè)往往容易忽略。。。。。。

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