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真空計(jì)常見(jiàn)的幾種類型如下：
1、真空計(jì)：直接讀取氣體壓力，其壓力響應(yīng)(刻度)可通過(guò)自身幾何尺寸計(jì)算出來(lái)或由測(cè)力確定。真空計(jì)對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無(wú)關(guān)，屬于真空計(jì)的有U型鎊壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)和熱輻射真空計(jì)等。
2、相對(duì)真空計(jì)：由一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來(lái)確定壓力，不能通過(guò)簡(jiǎn)單的計(jì)算進(jìn)刻度，必須進(jìn)行校準(zhǔn)才能刻度。相對(duì)真空計(jì)一般由作為傳感器的真空計(jì)規(guī)管(或規(guī)頭)和用于控制、指示的測(cè)量器組成。讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。相對(duì)真空計(jì)的種類很多，如熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)等。
3、根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成的真空計(jì)稱為電容式薄膜真空計(jì)，它由電容式薄膜規(guī)管（又稱為電容式壓力傳感器）和測(cè)量?jī)x器兩部分組成。電容薄膜真空計(jì)是一種絕壓、全壓測(cè)量的真空計(jì)，原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產(chǎn)生膜片間距離的變化，即產(chǎn)生了電容的變化，再通過(guò)鑒頻器把電容變化轉(zhuǎn)換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號(hào)，所以它的測(cè)量是直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關(guān)與氣體成分無(wú)關(guān),薄膜真空計(jì)是一種直接測(cè)量式的、全壓型的真空計(jì)。
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