Brooks Instrument質(zhì)量流量計(jì)5700系列參數(shù)
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Brooks Instrument質(zhì)量流量計(jì)5700系列參數(shù)
布魯克斯儀器的橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)和控制器將工藝所需的準(zhǔn)確性、可靠性和可重復(fù)性相結(jié)合,是一種能夠?yàn)槟峁└呔刃阅芎烷L期穩(wěn)定性并且經(jīng)濟(jì)有效的測量儀器。結(jié)果:使運(yùn)營投資價(jià)值和回報(bào)大化。
應(yīng)用
化學(xué)品與石化分析和試驗(yàn)過程
實(shí)驗(yàn)室和分析系統(tǒng)
生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室
薄膜氣相沉積
熱處理、切割等其他熱過程
真空應(yīng)用
參數(shù)
流體類型 氣體
流量范圍 滿量程容量3 sccm - 2500 lpm
精度 ± 0.6% of SP
最大壓力 4500 psig
溫度 65℃
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