mfc300 熱式氣體質(zhì)量流量控制器
參考價 | ¥ 4600 |
訂貨量 | ≥5只 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司
- 品牌 愛拓利
- 型號 mfc300
- 產(chǎn)地 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號 半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/2/11 11:48:32
- 訪問次數(shù) 12
產(chǎn)品標(biāo)簽
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
---|---|---|---|
價格區(qū)間 | 1-5千 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,制藥 |
MFC300熱式氣體質(zhì)量流量控制器 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。
產(chǎn)品特點
超快響應(yīng):5ms 測量響應(yīng),300ms控制響應(yīng)
高重復(fù)性,寬量程比
更小體積,安裝方便
無需預(yù)熱,使用便捷
分階流量控制軟件,靈活配置
TECHNICAL PARAMETERS
技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)
- 介質(zhì)要求潔凈干燥無腐蝕性氣體
- 氣體種類Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
- 測量和控制范圍0.2%-100%F.S. (1:500)
- 準(zhǔn)確度±0.5%F.S.
- 重復(fù)精度±0.5%F.S.
- 線性度±0.2%F.S.
- 分辨率0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)
- 傳感器響應(yīng)時間5ms
- 控制響應(yīng)時間300ms
- 預(yù)熱時間≤1s
- 閥門常閉式