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布魯克斯儀器的橡膠密封質量流量計和控制器將工藝所需的準確性、可靠性和可重復性相結合,是一種能夠為您提供高精度性能和長期穩(wěn)定性并且經濟有效的測量儀器。
應用
化學品與石化分析和試驗過程
實驗室和分析系統(tǒng)
生命科學實驗室
薄膜氣相沉積
熱處理、切割等其他熱過程
真空應用
參數(shù)
流體類型 氣體
流量范圍 滿量程容量3 sccm - 2500 lpm
精度 ± 0.6% of SP
最大壓力 4500 psig
溫度 65℃
布魯克斯質量流量設備得到廣泛應用的關鍵原因:
擁有業(yè)內種類齊全的產品系列可滿足各種應用需求
創(chuàng)新型 MultiFlo™ 技術可使一臺設備完成氣體類型和量程的切換工作并且無需從系統(tǒng)中拆除設備,同時還能夠提升過程氣體的測量準確性
產品范圍全面,包括彈性體密封和金屬密封選件
超高純度設備,專為滿足薄膜、半導體以及其他高科技行業(yè)需求而設計
以上內容由上海維特銳提供;詳情請點擊:Brooks熱式質量流量計SLA系列資料
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