在線質(zhì)譜氣體分析系統(tǒng)

BSD-MASS 在線質(zhì)譜氣體分析系統(tǒng)（美國英?？?INFICON）
Oline Mass spectrometer Gas Analyzer

四極桿質(zhì)譜：德國英福康（INFICON）在線質(zhì)譜（原產(chǎn)地：美國，提供原產(chǎn)地證明和原廠校驗證書）；

質(zhì)譜檢測器：法拉第杯Faraday Cup (FC)和電子倍增器Electron Multiplier (EM)；

質(zhì)量數(shù)：默認1-100amu；選配1-200amu或1-300amu；

燈絲：鍍銥燈絲，2套，一用一備，軟件切換；

采樣壓力：默認100±10kpa，其它采樣壓力需定制；

氣體采樣流量：默認5SCCM，低可0.2SCCM的超微采樣量；

響應(yīng)速度：可在低＜5SCCM的微流量采樣量下，仍然保持超快速的響應(yīng)，響應(yīng)時間＜1秒；（脫離采樣量的響應(yīng)時間沒有價值）

分辨率：＜0.5ppm（40amu）；

掃描速度：高可達1.8毫秒/amu；

渦輪分子泵：愛德華，抽速85L/s，極限真空1*10E-12mbar；

干泵：渦旋干泵，抽速20L/S，極限真空1*10E-1mbar；

分流系統(tǒng)：具有，高精度分流系統(tǒng)是快速靈敏響應(yīng)速度的保證。

質(zhì)譜腔體加熱烘烤：具有，烘烤溫度150℃；

其它功能：

零焊縫真空質(zhì)譜腔體技術(shù)（將傳統(tǒng)的4焊縫降低到0焊縫）；

分子泵高真空大流導(dǎo)MAX接口技術(shù)（將流導(dǎo)面積增加3倍以上，流導(dǎo)長度縮短5倍以上），從而獲得極限靈敏度；

分子泵電流電壓監(jiān)測，質(zhì)譜腔體溫度監(jiān)測；

采樣管線防蒸汽凝結(jié)技術(shù)；采樣口防堵技術(shù)；

從左右：英福康中國華北區(qū)經(jīng)理，貝士德儀器總工，英?？得绹S傳感器部門經(jīng)理、質(zhì)譜部門經(jīng)理

技術(shù)交流

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