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更新時(shí)間：2022-11-30 17:35:40瀏覽次數(shù)：253評(píng)價(jià)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PlasmaPro 100 Estrelas 平臺(tái)旨在提供深硅蝕刻（DSiE）領(lǐng)域的的靈活性以滿足微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）、良好封裝以及納米技術(shù)市場(chǎng)的各種工藝要求?？紤]到研究和生產(chǎn)的市場(chǎng)發(fā)展，PlasmaPro 100 Estrelas 提供了更加出色的工藝靈活性。詢價(jià) 增加到詢價(jià)列表在詢價(jià)列表中查看此產(chǎn)品

詳細(xì)介紹

PlasmaPro 100 Estrelas平臺(tái)旨在確保覆蓋MEMS，良好封裝和納米技術(shù)的廣泛應(yīng)用，從光滑側(cè)壁工藝到高刻蝕速率腔刻蝕、高深寬比工藝和錐形通孔刻蝕，不需要更換腔室硬件就可以實(shí)現(xiàn)。

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