技術(shù)參數(shù)：

雙倒置磁控管設(shè)計(jì)

量程： 1×10-7 ~一個(gè)大氣壓

精度： 1×10-6~1×1Pa     30%讀數(shù)

            1 ~1×104 Pa   15%讀數(shù)

            104 ~105 Pa    50%讀數(shù)

重復(fù)性精度：±5%讀數(shù)

工作溫度：5~55℃

烘烤溫度：150℃

模擬輸出：0-10.5V

供電：14.5~30V

單位mbar，Torr可選

安裝方向：任意

應(yīng)用：

1）基本壓力監(jiān)視和控制，在蒸發(fā)和濺射

鍍膜應(yīng)用中從大氣壓到高真空。

2）一般真空測(cè)量 – 工業(yè)爐、建筑玻璃、

半導(dǎo)體、冰箱和空調(diào)。

3）分析和研發(fā)應(yīng)用 – 質(zhì)譜分析、

電子顯微鏡、醫(yī)療、眼科、光學(xué)和

高能物理