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有機(jī)材料熱蒸鍍?cè)O(shè)備

有機(jī)金屬熱沉積系統(tǒng)是一種熱蒸發(fā)的方式，用於將有機(jī)或金屬材料沉積到基板表面上。該過(guò)程需要通過(guò)精確控制溫度和沉積速率來(lái)實(shí)現(xiàn)薄膜的高精度和均勻性。

為了達(dá)到此要求，有機(jī)材料熱沉積系統(tǒng)使用高精準(zhǔn)熱蒸發(fā)源作為加熱源，並使用金屬、石英、陶瓷或PBN坩堝來(lái)容納有機(jī)材料以及PID控制器來(lái)控制其沉積速率。該系統(tǒng)通常用於有機(jī)電子研究領(lǐng)域，例如OPV、OLED、OPD... 

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封裝系統(tǒng)

SYSKEY針對(duì)研究等級(jí)的實(shí)驗(yàn)室，推出玻璃對(duì)玻璃封裝的對(duì)位壓合機(jī)構(gòu)。我們整合塗膠系統(tǒng)(UV或liquid gate)和紫外光燈可安裝於手套箱或是獨(dú)立的一個(gè)壓合腔體內(nèi)，且可手動(dòng)進(jìn)行放片，也可以透過(guò)自動(dòng)傳片系統(tǒng)使用。可撓式OLED必須輕薄且具有可撓曲性，因此過(guò)往的玻璃材料並不適合用於此類的封裝，必須採(cǎi)用薄膜封裝技術(shù)(Thin-Film Encapsulation，TFE)或混和封裝技術(shù)。SYSKEY針對(duì)薄膜封裝推出電漿輔助式化學(xué)氣相沉積、原子層沉積和聚對(duì)二甲苯沉積等三種設(shè)備，且使用低溫的沉積技術(shù)，分別在OLED 上堆疊多層薄膜(SiN_X、SiO_XN_X、Al₂O₃、ZnO、Parylene)並得到更好的保護(hù)層，以減少水氧對(duì)於有機(jī)元件的影響，從而提高OLED面板的壽命和性能。