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北京瑞科中儀科技有限公司
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FPD-PVD磁控濺鍍?cè)O(shè)備
  • FPD-PVD磁控濺鍍?cè)O(shè)備

更新時(shí)間：2024-11-18 21:00:07

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( 聯(lián)系我們，請(qǐng)說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息，謝謝?。?/p>

簡要描述：FPD-PVD磁控濺鍍?cè)O(shè)備針對(duì)中小尺寸的需求開發(fā)串集的PVD 設(shè)備，擁有4個(gè)單獨(dú)的濺鍍腔體，讓客戶能任意搭配沉積的材料，同時(shí)保有彈性和具有選擇性的系統(tǒng)。

FPD-PVD磁控濺鍍?cè)O(shè)備

隨著LCD面板和製造所需玻璃的尺寸的增加，製造設(shè)備也隨著變得更大，需要越來越大的設(shè)備投資。SYSKEY針對(duì)中小尺寸的需求開發(fā)串集的PVD 設(shè)備，擁有4個(gè)單獨(dú)的濺鍍腔體，讓客戶能任意搭配沉積的材料，同時(shí)保有彈性和具有選擇性的系統(tǒng)。

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FPD-PVD磁控濺鍍?cè)O(shè)備

應(yīng)用領(lǐng)域

  • TFT-LCD。

  • 太陽能電池。

  • 觸碰屏。

  • 氧化物、氮化物和金屬材料的研究。


配置和優(yōu)點(diǎn)選件

  • 客製化基板尺寸為550 x 650 mm2(玻璃)。

  • 優(yōu)異的薄膜均勻度小於±5％。

  • 穩(wěn)定的溫度控制，可將基板加熱到400°C。

  • Cassette傳送站。

  • 基材電漿清潔。

  • OES、RGA或製程監(jiān)控的額外備用

    端口。


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