目錄:蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司>>流量計>>氣體質(zhì)量流量控制器>> MFC300質(zhì)量流量控制器
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 1-5千 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),制藥,電氣 |
MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。
產(chǎn)品特點
超快響應(yīng)：5ms 測量響應(yīng)，300ms控制響應(yīng)
高重復(fù)性，寬量程比
更小體積，安裝方便
無需預(yù)熱，使用便捷
分階流量控制軟件，靈活配置
主要參數(shù)
介質(zhì)要求
潔凈干燥無腐蝕性氣體
氣體種類 Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
測量和控制范圍 0.2%-100%F.S. （1:500）
準(zhǔn)確度 ±0.5%F.S.
重復(fù)精度 ±0.5%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
傳感器響應(yīng)時間 5ms
控制響應(yīng)時間 300ms
預(yù)熱時間 ≤1s
閥門 常閉式
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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