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壓電·二維/三維掃描運動 Sxxx.XYZ.C

? 針對精密光學(xué)、半導(dǎo)體表征等“3自由度掃描運動”需求的定制化解決方案

• 三維度XYZ 掃描運動 100 um × 100 um × 100 um；200 um × 200 um × 200 um

• 外形尺寸， 55 mm × 55 mm × 40 mm；

• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 1 nm；

• 支持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級；

壓電多維度掃描臺，三維掃描運動，兼容無磁高真空——詳細(xì)參數(shù)：

壓電多維度掃描臺，三維掃描運動，兼容無磁高真空——尺寸圖：

多場科技“壓電掃描臺·緊湊型”解決方案主要包含：

S —— 掃描標(biāo)準(zhǔn)系列；

SD —— 高動態(tài)系列；

SH —— 高負(fù)載系列。

S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運動、Z軸單維度運動、XY軸雙維度運動和XYZ軸三維度運動等應(yīng)用場景，支持電容閉環(huán)傳感，可選無磁/高真空/超高真空選件升級。