半導體器件高低溫測試設(shè)備（Chiller）主要用于半導體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預測控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù)，并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制，顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。
半導體器件高低溫測試設(shè)備特點：
變頻控制，智能PID控制
預測控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制，高效節(jié)能
兩級閉環(huán)節(jié)能控制
普泰克（proteco)制冷設(shè)備技術(shù)集合了多位生物制藥領(lǐng)域、機械設(shè)計、軟件自控的專業(yè)人才，依托于浙江大學制冷研究院的技術(shù)團隊支持，致力于高低溫設(shè)備的研究、開發(fā)、制造、銷售。
我司借鑒歐美技術(shù)，以模塊化部件為平臺，衍生出多款高低溫設(shè)備產(chǎn)品，提出：“個性化溫度控制解決方案"的理念！嚴格按照客戶要求進行規(guī)劃和制造，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于國內(nèi)外科學研究和工藝開發(fā)、新能源汽車、生物技術(shù)、醫(yī)藥行業(yè)、航空航天、半導體、醫(yī)療技術(shù)等行業(yè)。
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