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產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,能源,電子,綜合

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在中概要溶接ベローズは、一般真空機器、半導體製造裝置における可動部分の真空保持や裝置からの排気配管用として數(shù)多く使用されております。特に、裝置の可動部の真空を保持する為に、安全性/機密性や耐久性を考慮にいれ高品質(zhì)の金屬を使用した溶接メタルベローズが求められています。弊社の溶接メタルベローズは、ISO9001 認定工場で管理、製造、検査されており、ご安心できる高品質(zhì)のベローズを壓力控制范圍趨于多樣化，對低真空（高壓）下壓力控制的需求越來越大。由于工藝氣體的多樣化，閥門加熱溫度也要求更高。這種寬帶閥就是為滿足這一需求而開發(fā)的。
壓力控制范圍廣：可控從101.33kPa（大氣壓）到10Pa以下（760Torr到70mTorr以下），最高可加熱到200℃。概要従來の真空圧力制御において、プロセスの多様化により、圧力制御範囲も多様化の傾向を示してきており、特に低真空（高圧）下での圧力制御のニーズが増加してきております。バルブ加熱溫度も、同じくプロセスガスの多様化により、より溫度を求められるようになってきました。そのご要望にお答えする為に開発致しましたのがこの広帯域バルブです。特長 ?広い圧力制御範囲：101.3kPa（大気圧）～ 10Pa以下(760Torr～70mTorr以下) ?弁體、バルブ本體（接ガス）部を200℃まで任意に加熱可能 ?溫度不均一を発生させるベローズを使用せず獨自構(gòu)造のシャ概要このコントローラは広帯域バルブ／AW シリーズを制御する為に國內(nèi)で開発された専用のコントローラ／ＡＰシリーズです。コントローラー本體は多機能を有しており各種プロセス條件に最適化が可能です。外部制御方式はアナログ／デジタル両方を標準裝備しております。また、全面操作パネルからの設(shè)定も可能ですので操作が非常に容易です。主な機能 ?２個のキャパシタンスマノメーターを接続し獨立した圧力モニター及びコントロールが可能 ?バルブのソフトスタート（スローバキューム） ?ランプコントロール（遅延コントロール）が可能 ?レンジの異なる２個のキャパシタンスマノメーターも接続

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