AE 射頻電源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 是經(jīng)過現(xiàn)場驗證的具有可靠性能和穩(wěn)定輸出能力的優(yōu)秀射頻發(fā)生器，在實機驗證中體現(xiàn)出了優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和輸出控制能力。該型射頻電源能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準控制，廣泛應用在半導體制程濺射、CVD、PECVD、蝕刻等工藝中，且具有優(yōu)秀表現(xiàn)。Cesar 系列射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力，在半導體薄膜工藝中，具有成膜速度快，效率高，質(zhì)量好的優(yōu)點，在一定程度上能夠提升產(chǎn)線效率和成品良率，具有十分廣泛的應用。

AE 射頻電源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 參數(shù)規(guī)格：

設備品牌：AE(Advanced Energy)

設別型號：Cesar 0230

AC 電源輸入：3 phase~ +PE，200V~ ，50/60Hz，20.0A

RF 射頻輸出：3000W，~615V，2MHz

通訊接口：RS-232，User Port，Matchbox，Diagnostic

設備散熱：風冷+水冷散熱