ENI 高頻射頻電源 DOFBC2-083 27MHz RF Generator是經過長現(xiàn)場驗證具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源，能夠實現(xiàn)對射頻輸出的精準控制，被廣泛運用于濺射、CVD、PECVD、蝕刻等半導體制程工藝中。ENI 系列射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力，成膜效果好、速度快，運用于半導體制程薄膜工藝中能夠提高成膜效率，一定程度上可以提高產線效率和產品良率。該型高頻射頻電源堅實耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。該型射頻電源設備整體上采用緊湊設計，緊湊小巧，能夠減少客戶的使用成本。

ENI 高頻射頻電源 DOFBC2-083 27MHz RF Generator 參數(shù)規(guī)格

設備品牌：ENI                                                                      

設備型號：DOFBC2-083

AC 電源輸入：3 phase~ /PE，208V，25A，50/60Hz

RF 射頻輸出：27MHz

通訊接口：Solenoid Control，F(xiàn)iberoptic Interface

設備散熱：水冷散熱

設備重量：37.6kg，83.0lbs