DAIHEN 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 NX-HRM-30B4 13.56/100MHz 3000/5000W RF Match 是經(jīng)過長期現(xiàn)場驗證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控能力的高性能射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器，能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出和功率的精準控制，常常運用于濺射、CVD、PECVD、蝕刻等半導體制程中。該型射頻電源阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器設(shè)計有雙射頻通道信號匹配，分別為13.56MHz/3000W和100MHz/5000W。DAIHEN NX-HRM系列射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器響應(yīng)速度快，匹配精度高，能夠迅速完成匹配，對功率反射信號的偵測靈敏，可以快速反射功率，提高能源效益，降低客戶的使用成本。

DAIHEN 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 NX-HRM-30B4 13.56/100MHz 3000/5000W 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：DAIHEN

設(shè)備型號：NX-HRM-30B4

DC 電源輸入：24V，5.5A

RF 射頻輸入 13.56MHz/100MHz

輸出功率：3000W/5000W

通訊接口：DeviceNet，Display，Debug，Pulse In，Analog-I/F I/L

設(shè)備散熱：風冷散熱

設(shè)備重量：26.5kg