供貨周期 |
現(xiàn)貨 |
貨號 |
2L39-000009-13 |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
電子,電氣,綜合 |
主要用途 |
RF GENERATOR |
品牌 |
DAIHEN |
型號 |
RTGA-30A |
P/N |
2L39-000009-13 |
頻率 |
12.88MHz |
輸出功率 |
3500W |
設(shè)備狀態(tài) |
Refurbished |
DAIHEN 射頻電源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W RF Generator 是具有優(yōu)秀性能和高可靠性的射頻電源,廣泛應(yīng)用于半導體制程中。
DAIHEN 射頻電源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W RF Generator是經(jīng)過現(xiàn)場長期驗證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源,該系列射頻電源能夠?qū)ι漕l輸出實施精準控制,被廣泛的應(yīng)用在濺射、CVD、PECVD、蝕刻等半導體制程中。RTGA 系列射頻電源具有優(yōu)良可靠的成膜能力,成膜速度快,運用于半導體制程薄膜工藝中,可以一定程度上提升產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。該型射頻電源整體采用了緊湊的外觀設(shè)計,能夠降低客戶的使用成本。
DAIHEN 射頻電源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W參數(shù)規(guī)格
設(shè)備品牌:DAIHEN
設(shè)備型號:RTGA-30A
AC 電源輸入:3 phase~ ,200V,27A,50/60Hz
RF 射頻輸出:12.88MHz,3500W
通訊接口:DeviceNet,Debug,Analog I/F
設(shè)備散熱:風冷+水冷散熱
水冷進水需求:MAX Torque 30N·m
設(shè)備重量:48.5kg
![MF983902_001.JPG](https://img70.chem17.com/969b59aaf9fc955bb3be0824a4b67b88df84e4d7541804254b62310314b3b772b3df34e0baf4462a.jpg)
![MF983902_009.JPG](https://img70.chem17.com/969b59aaf9fc955bb3be0824a4b67b88d59a50174782c8e82c472117252bc926ffe74a8573993de5.jpg)
![MF983902_010.JPG](https://img70.chem17.com/969b59aaf9fc955bb3be0824a4b67b889192bd388c8369505c8d7ec9be0499ccd819de1adf350f88.jpg)