AE 射頻電源 RFG 1251 13.56MHz 1250W RF Generator是經(jīng)過現(xiàn)場長期驗證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源。AE RFG 系列射頻電源具有優(yōu)良的成膜能力，成膜速度快，被廣泛應用在CVD、PVD、PECVD等半導體制程薄膜工藝中。該型號射頻電源能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準控制，能夠減少損耗提高能源效益，一定程度上可以提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。設備整體采用緊湊型的設計風格，小巧緊湊，占用空間小，能夠降低客戶的使用成本。

AE 射頻電源 RFG 1251 13.56MHz 1250W RF Generator 參數(shù)規(guī)格

設備品牌：AE（Advanced Energy）

設備型號：RFG 1251                                                                                                                                          

AC 電源輸入：3 phase~/PE，~208V，50/60Hz，2.4kW

RF 射頻輸出：13.56MHz，250V~，1250W

通信接口：Control，CEX In/Out

設備散熱：水冷散熱

水冷進水要求：MAX進水水壓 5.17Bar/517kPa