供貨周期 |
現貨 |
貨號 |
3150292-006 |
應用領域 |
電子,電氣,綜合 |
主要用途 |
RF GENERATOR |
品牌 |
AE |
型號 |
VHF?2760 |
M/N |
3150292-006 |
頻率 |
60MHz |
輸出功率 |
2700W |
設備狀態(tài) |
Refurbished |
AE 高頻射頻電源 VHF 2760 60MHz 2700W RF Generator 是經過長期現場驗證的具有高可靠性的高性能射頻電源。
AE 高頻射頻電源 VHF 2760 60MHz 2700W RF Generator 是經過長期現場驗證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻發(fā)生器。AE VHF系列射頻發(fā)生器是甚高頻射頻電源,能夠對射頻輸出實現精準控制,具有優(yōu)良的成膜能力,廣泛應用在半導體制程薄膜工藝中,該系列射頻電源成膜速度快,質量好,能夠提高成膜效率,在一定程度上可以提升產線效率和產品良率。該型電源設備整體采用緊湊外形設計,堅固耐用,小巧便捷,機臺空間占用小。
AE 高頻射頻電源 VHF 2760 60MHz 2700W 參數規(guī)格
設備品牌:AE(Advanced Energy)
設備型號:VHF 2760
AC 電源輸入:3 phase~ / PE,~208V,20A,50/60Hz
RF 射頻輸出:60MHz,2700W
通訊接口:Host,User,CEX In/Out,Remote
設備散熱:水冷散熱
水冷進水需求:Max進水水壓 4.9bars,Max Torque All Fittings 10ft-lbs/15N·m,3/8"NPT
![335612_001.JPG](https://img67.chem17.com/969b59aaf9fc955b10a5a507cfcb1864a99cd944d90dea1958e23710df896d892651c30d18fc415d.jpg)
![335612_003.JPG](https://img66.chem17.com/969b59aaf9fc955b10a5a507cfcb1864e3eb8fee6c8346e1146b696a3894d89b3142d9cf74d3c0f7.jpg)
![335612_007.JPG](https://img66.chem17.com/969b59aaf9fc955b10a5a507cfcb1864b2bb4042d7eaf40706b780dd6ce1bd845ab08fe9a3026ef1.jpg)