DAIHEN 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 FMM-300A2 RF MATCH 能夠?qū)Φ入x子工藝經(jīng)行高性能，高可靠性和精確控制。設(shè)備內(nèi)部采用高度優(yōu)化的設(shè)計(jì)布局，可實(shí)現(xiàn)優(yōu)良工序間的可重復(fù)性工作。該款型號匹配器匹配效率高，速度快，能夠高效地降低反射，減少射頻損耗，提升能源效益，降低客戶的使用成本。DAIHEN FMM系列射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器響應(yīng)速度快，控制精度高，能夠?qū)Ψ瓷涔β式?jīng)行快速偵測，并通過調(diào)整內(nèi)部阻抗值對反射功率加以控制，達(dá)到降低功率反射的目的。

DAIHEN 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 FMM-300A2 RF MATCH 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：DAIHEN

設(shè)備型號：FMM-300A2

DC Input：24V，8.5A

RF輸入頻率：40.68MHz / 400KHz

輸出功率：7000W / 30000W

通訊接口：DEBUG，DeviceNet，Pulse In/Out

設(shè)備散熱：風(fēng)冷散熱

設(shè)備重量：42kg