DAIHEN 高頻射頻電源 AGA-50B2 RF Generator 是一款經(jīng)過長期驗(yàn)證的具有優(yōu)秀輸出性能和可靠性的高頻射頻發(fā)生器，能夠在半導(dǎo)體制程中實(shí)現(xiàn)等離子體工藝優(yōu)秀的再現(xiàn)性、穩(wěn)定性和可控性。DAIHEN AGA系列射頻電源能夠?qū)Φ入x子工藝進(jìn)行高性能，高可靠性和精確控制。

DAIHEN 高頻射頻電源 AGA-50B2 規(guī)格參數(shù)

設(shè)備品牌：DAIHEN

設(shè)備型號(hào)：AGA-50B2

AC 電源輸入：200V~，55A，50/60Hz

RF 射頻輸出：60MHz，5000W

脈沖頻率：1Hz~50KHz

頻率穩(wěn)定度：±0.01%以內(nèi)

散熱：水冷+風(fēng)冷

水冷進(jìn)水需求：Torque 30N·m（Max），水壓 6.9KPa（Max）

設(shè)備尺寸：430 * 600 * 225 mm

設(shè)備重量：70kg

DAIHEN AGA-50B2 RF Generator 特點(diǎn)

1.精度高，整個(gè)輸出范圍內(nèi)輸出功率穩(wěn)定

2.通過嚴(yán)格的設(shè)計(jì)和可靠性測試，實(shí)現(xiàn)了高可靠性和經(jīng)過現(xiàn)場驗(yàn)證的耐久性                                                            

3.通過高速數(shù)字控制實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的輸出和保護(hù)功能