供貨周期 |
現(xiàn)貨 |
貨號 |
WB3344 |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
化工,電子,電氣,綜合 |
主要用途 |
RF GENERATOR |
品牌 |
KYOSAN |
型號 |
RFK100ZD-TE2 |
L/N |
WB3344 |
頻率 |
13.56MHz |
輸出功率 |
10KW |
設(shè)備狀態(tài) |
Refurblished |
KYOSAN 射頻電源 RFK100ZD 13.56MHz 10KW RF Generator 是經(jīng)過長期驗(yàn)證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器,是面向核心等離子體應(yīng)用的業(yè)界前沿的可重復(fù)電源。
KYOSAN 射頻電源 RFK100ZD 13.56MHz 10KW RF Generator 是經(jīng)過長期驗(yàn)證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器,是面向核心等離子體應(yīng)用的業(yè)界前沿的可重復(fù)電源。RFK Series 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設(shè)計,能夠有效的降低客戶的使用成本。設(shè)備主要運(yùn)用于等離子蝕刻,CVD和濺射等應(yīng)用,堅固耐用,為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。KYOSAN RFK系列射頻電源廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體薄膜工藝中,優(yōu)良的成膜能力,能夠在一定程度上提升產(chǎn)能。嚴(yán)格的制造工藝讓該型射頻電源具有優(yōu)秀的射頻精準(zhǔn)控制,堅固耐用。
KYOSAN 射頻電源 RFK100ZD 13.56MHz 10KW RF Generator 規(guī)格
設(shè)備型號:RFK100ZD-TE2
AC輸入:3 phase ~ ,200 ~ 220V,50/60Hz,44A
RF輸出:13.56MHz,10KW
諧波失真:≤ -45dB
輸出:MOS-FET
輸出接口:HN type
散熱方式:水冷散熱
水冷進(jìn)水流速:8L/min
設(shè)備重量:70kg
通信接口:RS-232C、MB-Signal
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![0106008_004.JPG](https://img62.chem17.com/1b082722e7f6039bd4b1ed98f7aac2c3c7d58f4dc5cb21a8889f9a69cbd8bd1f0dbc4be44ce8e263.jpg)
![0106008_006.JPG](https://img62.chem17.com/1b082722e7f6039bd4b1ed98f7aac2c3bf25a212caf85fda939603affe2e28fc6c9748b4dc2b6f75.jpg)