MKS(ENI) 射頻電源 ACG-6B 13.56MHz 600W RF Generator 射頻發(fā)生器 提供一套緊湊、輕量級的射頻產品，具有各種用戶界面和功能，包括自動頻率調諧、快速瞬態(tài)恢復和脈沖。較少的零件數(shù)量和優(yōu)良的設計讓ACG系列產品即使是在要求苛刻的射頻等離子體的應用中也能進行高可靠性的運作。該系列設備采用高效率的功率放大器，降低雜散輸，提高射頻的穩(wěn)定性及射頻功率裕度。

MKS ACG Series 射頻等離子發(fā)生器涵蓋了從低頻率到高頻率的全頻率范圍，專為高功率密度和額外凈空空間設計，提供現(xiàn)場驗證的可靠性、優(yōu)秀的穩(wěn)定性和可重復性，以實現(xiàn)高運行時間和產量。

MKS(ENI) 射頻電源 ACG-6B 13.56MHz 600W 技術參數(shù)

設備品牌：MKS（ENI）

設備型號：ACG-6B

AC 電源輸入：1 phase~ /PE，100~240V，1.6kVA，50/60Hz

RF 射頻輸出：600W，13.56MHz

通信接口：Analog I/O，Serial I/O，EXT.OSC                                                                                                    

設備重量：12kg，26.5lbs