COMDEL 高頻射頻電源 CB250 13.56MHz 250W RF GENERATOR 是一款具有優(yōu)良可靠性的高頻射頻發(fā)生器，CB Series 是為滿足半導體加工用 RF 驅(qū)動等離子體系統(tǒng)的性能要求而設計的。應用包括蝕刻、RIE、平行板、ICP、RF濺射、CVD和PVD，以及工業(yè)系統(tǒng)中的感應和介質(zhì)加熱過程，以及太陽能光伏應用。

CB Series 的射頻發(fā)生器功率范圍為 50W~5000W，標準固定頻率為 13.56 MHz~60 MHz。該系列設備的固態(tài)設計提供了精確和可重復的功率控制，超穩(wěn)定的輸出和低擁有成本，產(chǎn)品設計都基于長期累積和經(jīng)過驗證的射頻放大器技術(shù)。

COMDEL 高頻射頻電源 CB Series 特點

1.CB Series 是高頻射頻電源

2.具有優(yōu)秀的設計和可靠性

3.設備封裝緊湊且輕量化

4.功率范圍，50W~5000W

5.頻率范圍，13.56MHz~60MHz

COMDEL 高頻射頻電源 CB250 13.56MHz 250W 射頻發(fā)生器 規(guī)格

AC輸入：208V ~ ±10%，5A，50/60 Hz

射頻輸出：250W，13.56MHz

水冷進水需求：水流 2L/min，水壓414 kPa（60 psi），水溫25℃ Max