COMDEL 低頻射頻電源 CLX2500 350KHz 2500W 射頻發(fā)生器是一款優(yōu)秀、可靠的低頻射頻電源，CLX系列的設(shè)計是為了滿足RF驅(qū)動等離子體系統(tǒng)在半導(dǎo)體加工中的性能需求，應(yīng)用范圍包括蝕刻、RIE、平行板、ICP、RF濺射、CVD和PVD，以及工業(yè)系統(tǒng)中的感應(yīng)和介質(zhì)加熱過程。

CLX系列低頻射頻電源的功率范圍從600W到10KW，固定頻率從20KHz到2MHz，頻率調(diào)諧能力高達(dá)10帶寬。該系列設(shè)備的固態(tài)設(shè)計具有高可靠性，擁有成本低。

COMDEL 低頻射頻電源 CLX SERIES 特點(diǎn)

1.低頻射頻電源，頻率為20KHz~2MHz

2.穩(wěn)定、可靠、低功率，功率范圍為600W~10KW

3.真空系統(tǒng)

4.較高頻率調(diào)諧能力，高達(dá)10

COMDEL 低頻射頻電源 CLX2500 350KHz 2500W 規(guī)格

AC輸入：480V~，3phase，50/60Hz，7.5A

輸出頻率：350KHz，24VDC 輸出電流

射頻輸出：2500W，354 VRMS，50 OHM

水冷進(jìn)水需求：Min 水流 6L/min，Max 水壓414 kPa（60 psi），Max 水溫25℃

通訊接口：Analog I/O