AE 水星Mercury 3013 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器水星系列射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器, 主要用于傳輸線上，以此來達(dá)到幾乎全部高頻微波信號均能傳遞至負(fù)載點(diǎn)的目的，減少信號反射回來源點(diǎn)，提升能源效益。在射頻濺射系統(tǒng)中，靶材于殼體近似一個電容器，對電源來說是電容性負(fù)載，通過調(diào)節(jié)射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器中的可調(diào)節(jié)電容，可以使得這個容性負(fù)載的阻抗達(dá)到事宜狀態(tài)，進(jìn)而使射頻電源的輸出功率得到高效的利用。

AE Mercury Series 設(shè)備特點(diǎn)：

1.使等離子體能夠高效的吸收射頻電源提供的能量

2.AE 水星Mercury 3013 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器可以提高靶的濺射速率

3.能夠加快成膜的速度

技術(shù)參數(shù)：

LF Input ：＜500KHz / 600V MAX

AC Input : 115 VAC , 50/60Hz , 1A / T1A 250 VAC

Net Dimensions and Weight : 400*240*400mm / 11.8Kg

頻率 ：13.56MHz                             

輸出功率 ：3000W