PEⅡ Series 低頻系列具有增強電弧控制功能和內(nèi)部負(fù)載匹配，適用于40KHz反應(yīng)濺射應(yīng)用。該系列電源設(shè)備按照雙磁控管濺射的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計，作為真空清潔工具可靠有效，可用于多種PECVD應(yīng)用。

PEⅡ Series 電源設(shè)備可嚴(yán)格調(diào)節(jié)功率、電壓或電流輸出，測量精度為1%，兼容可編程邏輯控制器（PLC），提供 40 KHz 脈沖寬度調(diào)制 (PWM)，提供兩種不同的電弧處理電路，浮動輸出可在任何一側(cè)接地。AE PEⅡ 10K 低頻電源 40KHz 10KW LF Power Supply 采用整體水冷的散熱方案。

AE PEⅡ 10K 低頻電源 40KHz 10KW LF Power Supply

技術(shù)參數(shù)

Power ：5 and 10 kW models (primary/secondary capable for higher powers)

Output Frequency ：40KHz

Voltage Range ：300 to 950 V via seven selectable taps

ARC Management ：Both voltage and current detection

Cooling ：Water

優(yōu)點

1. 可靠性久經(jīng)驗證，可有效提高系統(tǒng)利用率
   

2. 精確調(diào)節(jié)功率、電壓或電流

3. 可達(dá)到高靈活性和模塊化

4. 增強電弧控制

5. 寬輸出范圍

特點

1. 5KW 和 10KW 可選（針對60KW的主/從配置）

2. 內(nèi)部負(fù)載匹配（10：1阻抗范圍）

3. 兩個不同的電弧處理電路

4. 高效緊湊的水冷設(shè)計

5. 符合CE標(biāo)準(zhǔn)

6. 兼容Advanced Energy LMII 10K 匹配網(wǎng)絡(luò)，可在更高電壓下操作