微電子工藝需要非常潔凈的工藝化學(xué)品，該粒子計(jì)數(shù)器需要經(jīng)過(guò)高度過(guò)濾，適用于≤20nm的粒子。 PMS Chem 20化學(xué)式粒子計(jì)數(shù)器具有20 nm的粒子靈敏度，是目前靈敏度最高的高純度工藝化學(xué)品粒子傳感器。

來(lái)自化學(xué)品輸送和包裝系統(tǒng)的廣泛數(shù)據(jù)證明，與其競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品相比，具有20nm靈敏度的PMS Chem 20傳感器統(tǒng)計(jì)出的顆粒濃度較大，數(shù)據(jù)具有統(tǒng)計(jì)意義。 Chem 20化學(xué)顆粒計(jì)數(shù)器是非常有用的工具，在化學(xué)顆粒源影響工藝和設(shè)備性能之前，便能夠快速檢測(cè)化學(xué)顆粒源。

化學(xué)品粒子計(jì)數(shù)器特點(diǎn)

• 新增離線采樣功能

• 良好的激光光學(xué)和檢測(cè)器使檢測(cè)化學(xué)物質(zhì)的靈敏度達(dá)到20 nm

• 自帶化學(xué)流量計(jì)用于設(shè)定樣品流量

• 針對(duì)不同折射率的化學(xué)品進(jìn)行監(jiān)測(cè)，以提高數(shù)據(jù)可靠性：
     Chem 20：適用于折射率較低的化學(xué)品
     Chem 20-HI：適用于硫酸和其他折射指數(shù)較高的化學(xué)品

• 內(nèi)部泄漏監(jiān)測(cè)：在內(nèi)部化學(xué)品泄漏時(shí)提供報(bào)警

• 低流量監(jiān)測(cè)器和報(bào)警器，以確保數(shù)據(jù)一致

• 宏觀氣泡探測(cè)器用于保護(hù)傳感器性能

• 本地?cái)?shù)據(jù)顯示

化學(xué)品粒子計(jì)數(shù)器優(yōu)點(diǎn)

• 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)20 nm PSL和9 nm Au微粒

• 監(jiān)測(cè)影響良率的粒子（競(jìng)爭(zhēng)技術(shù)無(wú)法達(dá)到）

• 在掃描表面或得到數(shù)據(jù)之前，快速響應(yīng)粒子偏移

• 優(yōu)化化學(xué)品輸送系統(tǒng)，覆蓋從裝卸碼頭到加工節(jié)點(diǎn)的整個(gè)過(guò)程

• 改善樣本的數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，加強(qiáng)過(guò)程工藝控制

• 針對(duì)不同潔凈度的產(chǎn)品，使用兩種視圖模式優(yōu)化儀器操作，拓展產(chǎn)品應(yīng)用空間

• 傳統(tǒng)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)能夠靈活通信

• 便捷的在線和離線20nm監(jiān)測(cè)

應(yīng)用

• 化學(xué)輸送系統(tǒng)內(nèi)的實(shí)時(shí)粒子監(jiān)測(cè)

• 流程監(jiān)控點(diǎn)

• 化學(xué)包裝操作監(jiān)控

• 化學(xué)過(guò)濾器性能和效率描述

• 化學(xué)處理部件的性能測(cè)試

• 化學(xué)品質(zhì)量驗(yàn)證

   

化學(xué)品粒子計(jì)數(shù)器的操作步驟  

1、準(zhǔn)備狀態(tài)1.1電源開(kāi)關(guān)處于彈出位置。1.2采樣嘴與自?xún)艨谟密浌苓B接。1.3將打印機(jī)用打印扁帶線與后面板的打印接口連接;  

1.4，220V交流電源接人插座，并接通電源。  

粒子計(jì)數(shù)器預(yù)熱按下電源開(kāi)關(guān)電源指示燈亮檢測(cè)周期1min指示燈亮，多功能顯示屏上出現(xiàn)“READY”字樣  

3、粒子計(jì)數(shù)器使用按測(cè)量鍵，儀器即開(kāi)始一個(gè)檢測(cè)周期。此時(shí)，儀器指示燈和量程指示燈亮，氣泵開(kāi)始工作，流量計(jì)指示流量，多功能顯示屏顯示原來(lái)的“READY”字樣消失，開(kāi)始顯示粒子數(shù)(若原來(lái)顯示時(shí)間則仍顯示時(shí)間，直到再次按時(shí)鐘/粒徑鍵才開(kāi)始顯示粒子數(shù))。  

4、(將出廠時(shí)的密封軟管接頭從采樣嘴拔下)將采樣管一端與相接，另不端接上喇叭口，(附件)，旋動(dòng)流量調(diào)帶鈕，將浮子上端面調(diào)至2.83L/min刻線處;儀器便可以開(kāi)始測(cè)試。為了防止管道內(nèi)壁吸附的塵埃粒予影響測(cè)量結(jié)果，應(yīng)放過(guò)一至二遍測(cè)量數(shù)據(jù)測(cè)量計(jì)數(shù)可分總數(shù)和窗口兩種  

5、打印5.1測(cè)量結(jié)果需打印時(shí)，可按打印鍵這時(shí)打印指示燈表示檢測(cè)周期結(jié)束后，粒子計(jì)數(shù)器即可自動(dòng)打印出測(cè)量結(jié)果第二次打印鍵打印指示燈打印命令解除。  

直接用儀器對(duì)電池進(jìn)行充電：  

將電池插入儀器的電池槽，關(guān)好電池倉(cāng)蓋。  

將外接電源的出口端插入儀器上的24VDC電源輸入端。  

將外接電源的輸入端插入交流電插座，此時(shí)儀器上的電池狀態(tài)燈閃爍。  

當(dāng)充電完成，電池狀態(tài)指示燈常亮。  

從交流電插座上拔下外接電源的輸入端插頭，然后從儀器上拔下輸出端插頭。  

警告：請(qǐng)注意外接電源插拔順序！  

使用充電器對(duì)電池充電