高技術(shù)生產(chǎn)工藝通常要求高純度氣體。HPGP-101-C高壓氣體探頭為在線壓力下的工藝氣體提供可靠的在線污染監(jiān)測。HPGP-101-C高壓氣體探頭和氧氣、氫氣以及大多數(shù)無害氣體相匹配，它可以應(yīng)用于多種活性氣體監(jiān)測。HPGP-101-C會(huì)在影響產(chǎn)量之前，加快工藝氣體分配系統(tǒng)的資格確認(rèn)，監(jiān)測氣體中的粒子。HPGP與粒子數(shù)據(jù)系統(tǒng)、以太網(wǎng)(pds-e)配對(duì)，收集并報(bào)告由探測器捕獲的數(shù)據(jù)。

特點(diǎn)

• 安全保護(hù)殼

• 氧氣與氫氣兼容性

•  0.1SCFM下，靈敏度為0.1μm

• 8個(gè)粒子通道

• 管道壓力從40到150psig

• 被動(dòng)式激光源

• 并行處理陣列檢測器系統(tǒng)

優(yōu)點(diǎn)

• 核實(shí)粒子質(zhì)量

• 檢測工藝異常

• 量化系統(tǒng)更改的影響

• 提供精確粒徑

• 使用 Facility Net軟件來進(jìn)行全面的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、管理、報(bào)告和警報(bào)

• 被動(dòng)式激光源設(shè)計(jì)只需極少的維護(hù)

• 凈化的惰性氣體確保安全

• 樣本氣體一旦泄漏，容器立刻終止電源

應(yīng)用

• 氣體分布系統(tǒng)的資格確認(rèn)

• 工藝氣體監(jiān)測

• 活性氣體監(jiān)測